半导体设备陶瓷真空吸盘 - XY Advanced Ceramics

Kundenfälle

Wir bieten ein umfassendes Sortiment an keramischen Hochleistungswerkstoffen und maßgeschneiderten, maschinell bearbeiteten Komponenten, die den speziellen Anforderungen verschiedener Branchen in Bezug auf Härte, Abriebfestigkeit und Hochtemperaturbeständigkeit entsprechen.

半导体设备陶瓷真空吸盘

半导体设备陶瓷真空吸盘

陶瓷真空吸盘 是一种特殊的真空吸盘采用多孔陶瓷材料制成,具有高孔隙率、高强度、高平整度等特点,广泛应用于半导体晶圆的切割、研磨、检测等工序

案例概述

产品特点

1、精度高

2、气密性好

3、吸附力均匀

4、耐磨损、耐腐蚀

▲其可达到平面度0.002mm,平行度可达到0.003mm

材料 孔径(um)孔隙率压差(bar)电阻率颜色
氧化铝5-5015-45%351×1011深灰色/土黄色
碳化硅10-5015-45%301×108黑色

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半导体设备陶瓷机械手臂

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陶瓷机械手臂又称、陶瓷机械手指、晶圆托盘、晶圆机械手臂等,主要在半导体设备中起到输送搬运的作用,它相当于半导体设备这个机器人的手,负责搬运晶圆硅晶片到指定位置。

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Nr. 28, Xiangkou Road, Huangnitang District, Changping Town,

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