고객 사례
당사는 경도, 내마모성 및 고온 저항성 측면에서 다양한 산업의 특수 요구 사항을 충족하는 광범위한 고성능 세라믹 소재와 맞춤형 가공 부품을 제공합니다.
半导体设备陶瓷真空吸盘
陶瓷真空吸盘 是一种特殊的真空吸盘采用多孔陶瓷材料制成，具有高孔隙率、高强度、高平整度等特点，广泛应用于半导体晶圆的切割、研磨、检测等工序
案例概述
产品特点
1、精度高
2、气密性好
3、吸附力均匀
4、耐磨损、耐腐蚀
▲其可达到平面度0.002mm，平行度可达到0.003mm
| 材料 | 孔径(um) | 孔隙率 | 压差(bar) | 저항률 | 颜色 |
| 氧化铝 | 5-50 | 15-45% | 35 | 1×1011 | 深灰色/土黄色 |
| 碳化硅 | 10-50 | 15-45% | 30 | 1×108 | 黑色 |
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