고객 사례
당사는 경도, 내마모성 및 고온 저항성 측면에서 다양한 산업의 특수 요구 사항을 충족하는 광범위한 고성능 세라믹 소재와 맞춤형 가공 부품을 제공합니다.
半导体设备陶瓷机械手臂
陶瓷机械手臂又称、陶瓷机械手指、晶圆托盘、晶圆机械手臂等,主要在半导体设备中起到输送搬运的作用，它相当于半导体设备这个机器人的手，负责搬运晶圆硅晶片到指定位置。
半导体设备
지르코니아 세라믹
정밀 제조
案例概述
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产品特点
1.产品精度高
2.气密性好
3.耐高温性好
4.表面电阻率可控
5.耐酸碱、抗腐蚀能力强，能适应极度恶劣
▲自密性检测:关闭真空气源，负压-85Kpa到-80Kpa，时长达60s以上
▲晶圆吸附检测:关闭真空气源，负压-80Kpa到-25Kpa，时长达35s以上
| 产品性能 | 단위(측정값) | 参数 | |
| 저항률 | Ω | 碳化硅 | 1×105 |
| 氧化铝 | 1×1014 | ||
| 최대 작동 온도 | ℃ | 分体式手臂 | 350 |
| 一体式手臂 | 800 | ||
| 吸附面光洁度 | Ra | 0.01 | |
| 吸附面平面度 | m m | 0.01内 | |
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